SreangCútPaistriuPúirTantalumDiosca

I ndéantúsaíocht sliseanna leathsheoltóra nua-aimseartha, taisceadh ciseal bacainn ciorcaid iomlánaithe ar scála an-mhór (VLSI), foshraitheanna sprioc sputtering maighnéadrón ard-chruinneas PVD, agus meáin an-chreimneach (cosúil le fiuchphointe aigéad sulfarach tiubhaithe, rí uisce, rónta ard-tiúchan aigéad hidreaclórach), tá ceanglais rialaithe imeallacha {3} beagnach dian-imeall} maoile agus íonacht ábhar leatháin mhiotail chiorclaigh.

Mar a léirítear san fhigiúr, úsáideann ár-Diosca Tantalam Pure Wire EDM Cut Purefheidhmíochta 100% ard-léas leictreoin folúis (EB) bruithnithe ard-íonachta ASTM B708 R05200/Ta1 tantalam íon (íonacht Níos mó ná nó cothrom le 99. 95 bunábhar. Tríd an dífhoirmiúchán mór il-pas-rollta fuar agus anáil beachtas chun an micrea-mhéid na gcáithníní struchtúir a rialú, in éineacht le gearradh sreinge ard-chruinneas mall (Wire EDM) agus próiseas meilt/snasta dhá thaobh, áirithítear nach bhfuil na heangaí taobh den wafer cothrom agus ingearach, agus nach bhfuil imeall an chlaonta cothrom agus ingearach. Agus tá an méid geoiméadrach cruinn, ag soláthar amhábhar bunúsach an-iontaofa agus páirteanna próiseáilte do ardchustaiméirí déantúsaíochta Eorpacha agus Mheiriceá.

I. Buntáistí lárnacha den scoth (Buntáistí Innealtóireachta Mionlach)

Ard{0}}cruinneas íseal-Gearradh Sreanga, ciumhais ingearach gan burrs: In éineacht le sonraí na gciorruithe taobh san fhigiúr, bainimid úsáid as teicneolaíocht Gearradh Sreang ísealluais (Gearradh Sreang) chun imlíne a fhoirmiú, le hingearach ard an trasghearrtha, rud a sheachnaíonn go mór. cruinnis ard-chóimeáil nó ceangal sprice (nascadh).

Maoile tríthoiseach den scoth agus caoinfhulaingt roundness céanna: Mar a thaispeántar san fhigiúr, soláthraíonn an táirge rialú cárta beacht i trastomhais éagsúla (mar shampla φ 50 mm -φ 300 mm thuas). Tar éis leibhéalta beacht agus meilt dromchla, déantar an maoile a rialú laistigh de Níos lú ná nó cothrom le 0.5%, rud a mhéadaíonn go mór an baol go dtarlóidh strus teirmeach warpage nuair a úsáidtear é faoi theocht ard agus i bhfolús.

Maitrís ard-íonachta agus rialú méid gráin: tá an íonacht chomh hard le Níos mó ná nó cothrom le 99. 95%, agus cuirtear teorainn leis na heilimintí idir-rannacha (ocsaigin, nítrigin, hidrigin, carbóin) agus greamaítear iad, rud a chuireann cosc ar bhrabús ardteochta go héifeachtach. Tá an dáileadh gráin micreascópach inmheánach aonfhoirmeach, agus féadann sé ráta taisce scannáin an-ard agus aonfhoirmeacht sciath a chinntiú nuair a úsáidtear é mar sprioc sputtering bán.

II. Príomhpharaiméadair theicniúla agus maitrís comhdhéanamh ceimiceach (Paraiméadar Teicniúil & Maitrís Ceimic)

D'fhonn caighdeáin dochta inrianaitheachta an chliaint a chomhlíonadh, déantar na croí-pharaiméadair theicniúla a réiteach mar seo a leanas:

Paraiméadar Teicniúil & Maitrís Ceimic

Toisí	Sonraíochtaí Teicniúla & Maitrís
Eolas Bunúsach
Grád Ábhar	R05200 (ard-íonachta-folús-léas leictreoin ard íonachta bruithniú tantalam íon\|íonacht Níos mó ná nó cothrom le 99. 95%); Roghnach R05400
Caighdeáin	ASTM B708 (Sonraíocht Chaighdeánach le haghaidh Pláta Cóimhiotail Tantalam agus Tantalum, Stiall, Bileog)
Déantúsaíocht	Bruithniú léas leictreon → il-rolláil fuar-phas → Wire EDM → meilt/snasta
Críochnaigh Dromchla	Críochnaigh le meaisínithe/talamh, snasta nó glanta
Sonraíochtaí	Tacaíonn sé le saincheaptha CAD/líníochta (Méideanna Saincheaptha ar Fáil) le haghaidh trastomhais agus tiús éagsúla neamhchaighdeánacha
Trastomhas	φ 20 mm-φ 400 mm (ard-rialú cárta beachta de réir an líníochta)
Tiús	0.5 mm- 25.0 mm Saincheaptha
Caoinfhulaingt	Caoinfhulaingt trastomhas: ± 0.1 mm (teorainn suas le ± 0.05 mm); Caoinfhulaingt do thiús: ± 0. 05 mm
Airíonna Meicniúla	(Stáit Annealed) Airíonna meicniúla caighdeánacha ag teocht an tseomra 20 céim
Neart Teanntachta	Níos mó ná nó cothrom le 205 MPa - 380 MPa (coigeartú solúbtha le tiús próiseála agus staid anáil)
Neart Toradh	Níos mó ná nó cothrom le 140 MPa
Fadú	Níos mó ná nó cothrom le 25% -30% (plaisteachacht agus cruas fuar-oibre den scoth)
Ceimic %	ÍonachtaNíos mó ná nó cothrom le 99.95%, agus tá na heilimintí interstitial agus neamhíonachtaí miotail aistrithe teoranta go docht
Ta (Íonacht Maitrís)	Níos mó ná nó cothrom le 99.95% (lúide eilimintí neamhíonachta gaolmhara amhail niobium)
NB (Rialú eisíontais)	Níos lú ná nó cothrom le 0.05 %
Fe｜Ni｜Cr	Fe Níos lú ná nó cothrom le 0.005%｜Ni Níos lú ná nó cothrom le 0.002%｜Cr Níos lú ná nó cothrom le 0.002%
W｜Mo｜Ti	W Níos lú ná nó cothrom le 0.01%｜Mo Níos lú ná nó cothrom le 0.01%｜Ti Níos lú ná nó cothrom le 0.002%
O｜N｜H	O Níos lú ná nó cothrom le 0.015%｜N Níos lú ná nó cothrom le 0.01%｜H Níos lú ná nó cothrom le 0.0015% (laistigh de 15 ppm)

III. Próiseas táirgthe caol agus cóireáil dromchla (Próiseas Déantúsaíochta)

Bruithniú EB agus rolladh fuar: Úsáidtear bruithniú léasa leictreoin folúis (EB) ard arís agus arís eile chun tinní tantalam ardíonachta a íonghlanadh lena chinntiú nach bhfuil aon chuimsiú gáis ann. Ina dhiaidh sin, déantar an méid gráin a scagadh agus cuirtear deireadh leis an anisotrópacht treoshuímh inmheánach trí mhéid dífhoirmithe mór rollta fuar agus tras-rollta.

Precision Wire EDM (Precision Wire EDM): Deisigh an pláta tantalam íon le maolas ard ar an ardán gearrtha sreinge CNC, agus úsáid sreang copar sreang / sreang tungstain chun gearrtha i gciorcail, mar a thaispeántar san fhigiúr, ag cinntiú go bhfuil an caoinfhulaingt roundness an-bheag agus tá an aghaidh deiridh glan.

Meilt agus snasú cruinneas dhá thaobh: bain úsáid as meilteoir bailchríoch cothrom chun an sliseog tantalam gearrtha a thaanú agus a mheilt ar an dá thaobh chun deireadh a chur leis an gciseal micrea-chreimeadh leictreach a d'fhág gearradh sreinge, ionas go mbeidh dromchla réidh agus mín gathacha ann mar a thaispeántar san fhíor. Dromchla uigeacht meilt.

Glanadh ultrasonaic agus pacáistiú i bhfolús: Tar éis díghrádú tuaslagóirí il- agus glanadh uisce íon ultrasonaic, déantar pacáistiú cosanta in aghaidh brú agus frith-scratch díreach tar éis a thriomú chun a chinntiú go bhfuil na táirgí a sheachadtar chuig custaiméirí Eorpacha agus Mheiriceá i staid ard glaineachta gan ola, ocsaídiú, agus scratches.

IV. Feidhmchláir thrasteorann-imeall (Feidhmchláir Mhargaidh Ardluacha)

Bearnaí Sputtering Sputtering Leathsheoltóra agus PVD (Sputtering Sputtering Sputtering): mar fhoshraitheanna sputtering ceangailteach nó bearnaí sprice i dtaisce leathsheoltóra ardíonachta scannán tanaí (cosúil le sraitheanna bacainní TaN).

Foirnéis teocht ard-leatháin inslithe teasa foirnéise agus eilimint téimh (Sciath Foirnéise UHV): I bhfolúsfhoirnéisí ardteochta nó réimsí teirmeacha fáis criostail aonair, mar scáileáin inslithe teasa deiridh, dioscaí frithchaiteacha agus tráidirí iompair ualaigh.

Rónta agus comhlaí (Comhlaí Próisis Chorsacha & Rónta): gaiscéid, comhlaí agus dioscaí réabtha (Dioscaí Rupture) a úsáidtear mar fhriotaíocht fhoircneach in imoibreoirí aigéid láidre agus i gcomhlaí frithchreimeadh