Déantar sprioc-ábhair a rangú de réir ábhair go príomha i spriocanna miotail (amhail copar, alúmanam, agus tíotáiniam), spriocanna cóimhiotail (amhail cóimhiotail chopair-mangainéise), agus spriocanna ceirmeacha (amhail ocsaíd stáin indium (ITO)).
Tá spriocanna miotail comhdhéanta go príomha de mhiotail eiliminteacha ultra-ard{-, lena n-áirítear alúmanam (Al), copar (Cu), tíotáiniam (Ti), agus tantalam (Ta). Úsáidtear spriocanna alúmanaim le haghaidh sraitheanna seoltacha i bpróisis os cionn 110nm, agus úsáidtear spriocanna copair le haghaidh sraitheanna idirnasctha i bpróisis chun cinn faoi bhun 110nm mar gheall ar a seoltacht níos fearr. I sraitheanna bacainní, cuireann spriocanna tantalam cosc éifeachtach ar idirleathadh adamhach miotail mar gheall ar a n-ardphointe leá agus cobhsaíocht láidir ceimiceach.
Úsáidtear spriocanna cóimhiotal, amhail nicil-cróimiam (NiCr) agus cóbalt-tungstain (CoW), i sraitheanna teagmhála nó i sraitheanna sonracha feidhmiúla chun friotachas agus cobhsaíocht theirmeach scannán tanaí a bharrfheabhsú.
I measc na spriocanna cumaisc ceirmeacha tá ocsaídí (cosúil le ocsaíd stáin indium (ITO), silicídí agus cairbídí. Úsáidtear iad go príomha i sraitheanna bacainní (cosúil le TaN) nó sraitheanna inslithe chun idirleathadh miotail a chosc agus iontaofacht gléas a fheabhsú. De réir mar a théann próisis ar aghaidh go méideanna níos lú, méadóidh ceanglais maidir le sprioc íonachta, aonfhoirmeacht struchtúrach, agus rialú méid gráin go heaspónantúil). uasghráduithe ar theicneolaíocht spriocdhírithe.
Aicmiú sputtering sputtering
Aicmiú de réir cruth: spriocanna cruinn, spriocanna pláta, spriocanna feadáin
Aicmiú de réir comhdhéanamh ceimiceach:
· Spriocanna miotail (alúmanam miotail íon, tíotáiniam, copar, tantalam, etc.)
·Spriocanna cóimhiotail (níicil-cóimhiotal cróimiam, nicil-cóimhiotal cóbalt, etc.)
·Spriocanna cumaisc ceirmeacha (ocsaídí, silicídí, cairbídí, suilfídeanna, etc.)
Aicmiú de réir iarratais: Spriocanna sliseanna leathsheoltóra, spriocanna taispeána painéil chomhréidh, spriocanna cealla gréine, spriocanna stórála faisnéise, spriocanna modhnú uirlisí, spriocanna gléasanna leictreonacha, spriocanna eile
